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El Módulo de excímeros MINl de 172 nm es una solución de escritorio compacta y plug-and-play para I+D de semiconductores y validación de laboratorioMediante la emisión de radiación ultravioleta de vacío (VUV) de onda corta, rompe los enlaces moleculares para eliminar los contaminantes orgánicos y modificar la energía superficial sin dañar el sustrato, lo que proporciona una plataforma ágil de validación de procesos para laboratorios de investigación y universidades.
Modelo :
EX-D75-1Irradiancia central (a 1 mm) :
>10mW/cm²Uniformidad de la irradiancia :
±10%Tiempo para alcanzar el 90% de producción :
≤5 secondsVida útil promedio de la lámpara :
>1000 hoursMétodo de enfriamiento :
Air coolingDimensiones del módulo (largo × ancho × alto) :
209×142×69 mmDimensiones de la abertura de la ventana (largo × ancho) :
75×50 mm
Los equipos de I+D utilizan el EX-C300 para ajustar los parámetros óptimos de VUV de 172 nm (dosis, distancia de trabajo y tiempo de ciclo) para la activación de superficies de unión de chips, flip-chips e híbridas. El formato de sobremesa proporciona datos de energía superficial repetibles, lo que permite establecer una receta de unión validada antes de la entrega a producción.
Los investigadores tratan obleas de prueba, tanto sin recubrimiento como con patrones, con fotones VUV de 172 nm para establecer parámetros de limpieza previos a los procesos ALD, CVD o PVD. El funcionamiento a temperaturas inferiores a 40 °C elimina cualquier riesgo relacionado con el presupuesto térmico, mientras que los datos de XPS y del ángulo de contacto posteriores al tratamiento definen la dosis efectiva mínima para la cualificación del proceso.
El EX-C300 elimina la suciedad orgánica de las máscaras metálicas finas y las fotomáscaras mediante oxidación puramente fotoquímica: sin contacto, sin productos químicos, sin residuos. Las pruebas iterativas confirman que las características de la máscara a escala nanométrica permanecen intactas, lo que permite definir límites seguros de dosis acumulada y ciclos para su adopción en la producción.
Los laboratorios de I+D de películas y baterías tratan películas de polímero (PET, PI, COP) y láminas de electrodos mediante una exposición controlada a 172 nm, y luego miden la reducción del ángulo de contacto y las mejoras en la adhesión. El proceso de fotones fríos evita el daño térmico a los materiales sensibles, y los datos resultantes se incorporan directamente a las recetas de producción en línea: primero en el laboratorio y luego en la fábrica.
Diseño compacto y ligero, listo para usar sobremesa (plug-and-play).
Alta intensidad de emisión UV a 172 nm, encendido rápido y estable en 5 segundos.
Irradiancia uniforme para obtener resultados de procesamiento consistentes y fiables.
Refrigerado por aire, no requiere sistema de refrigeración externo.
Disponemos de soluciones de aplicación personalizadas y servicios experimentales por contrato.
Sistema de gestión de calidad certificado que garantiza un estándar de fabricación superior.
Cumple plenamente con la legislación europea en materia de salud, seguridad y protección del medio ambiente.
Fabricación ecológica totalmente libre de sustancias peligrosas.
Cumple con los estrictos criterios norteamericanos de aislamiento eléctrico, conexión a tierra y seguridad operativa.
Diseñado para sistemas de agua ultrapura (UPW), este producto ecológico y libre de mercurio Módulo VUV de 172 nm Este sistema activa una potente oxidación radicalaria que reduce el COT a niveles de ppb. Al convertir los compuestos orgánicos en trazas de CO₂ y H₂O, ofrece una solución ideal de purificación de agua para la industria de semiconductores, farmacéutica y laboratorios. Su diseño modular inteligente simplifica el mantenimiento in situ y la ampliación del sistema, con soporte completo para niveles de potencia y caudales personalizados.
Mejore la precisión de su tratamiento de superficies con GMY. Lámparas de excímero de 172 nmUtilizando tecnología avanzada oxidación fotoquímicaNuestras soluciones de luz ultravioleta de 172 nm, libres de mercurio, descomponen eficazmente los contaminantes orgánicos para lograr una limpieza a nivel atómico en obleas semiconductoras, sustratos de pantallas y dispositivos ópticos.
Descubra la alta eficiencia de GMY lámparas de excímero de 172 nm para fotocurado industrialLuz VUV potente de 350W-1000W, libre de mercurio, para reticulación rápida de superficies, acabado mate y modificación de recubrimientos PPF/PCB. En comparación con el curado UV tradicional, acorta el tiempo de curado y mejora los efectos de modificación de la superficie.
El Módulo de fotomodificación GMY de 172 nm Este módulo se presenta como la solución principal compatible con vacío para activar la hidrofilia de los implantes dentales. Mediante la precisa tecnología de excímeros de 172 nm, purifica las superficies de titanio descomponiendo los hidrocarburos orgánicos, lo que mejora drásticamente la bioactividad del TiO2 y la osteointegración. Diseñado para una integración perfecta con el dispositivo, este módulo destaca por su alta potencia, mínimo impacto térmico, ciclo de reacción rápido y amplia cobertura de haz homogénea.
GMY lámparas de excímero de 172 nm ofrecer radiación VUV de alta energía a degradar el COT Hasta niveles de ppb en agua ultrapura. Lámparas de 15 W/20 W sin mercurio para el tratamiento de aguas industriales. Al generar radicales libres, nuestros sistemas de luz UV oxidan la materia orgánica transformándola en moléculas de CO₂ y H₂O. Esta tecnología avanzada es especialmente adecuada para la producción de agua ultrapura.
El Dispositivo UV de excímero de 172 nm entrega fotolimpieza de alta energía y modificación de la superficie a nivel nanométrico para semiconductores, baterías y materiales avanzados. Utilizando fotones UV fríos de 172 nm, este sistema compacto rompe los enlaces químicos orgánicos y oxida los contaminantes sin dañar el sustrato. Con una alta uniformidad de ±15% Con temperaturas de funcionamiento inferiores a 40 °C, ofrece una alternativa ecológica y de bajo consumo a las lámparas de mercurio de baja presión tradicionales.
