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El Módulo de excímeros MINl de 172 nm es una solución de escritorio compacta y plug-and-play para I+D de semiconductores y validación de laboratorioMediante la emisión de radiación ultravioleta de vacío (VUV) de onda corta, rompe los enlaces moleculares para eliminar los contaminantes orgánicos y modificar la energía superficial sin dañar el sustrato, lo que proporciona una plataforma ágil de validación de procesos para laboratorios de investigación y universidades.
Pantalla flexible
Películas delgadas ópticas
Pretratamiento antes del recubrimiento