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Módulo de lámpara excimer de 172 nm, oblea semiconductora y máscara, limpieza UV, película FMM/Invar, revestimiento.
172nm excimer lamp module
172nm excimer surface treatment
PI film adhesion enhancement light
VUV contact angle reduction module
172nm cold UV light source
Mercury free 172nm light source

Módulo de lámpara excimer de 172 nm, oblea semiconductora y máscara, limpieza UV, película FMM/Invar, revestimiento.

Elimina contaminantes orgánicos a nanoescala. Se utiliza ampliamente para la limpieza UV de obleas semiconductoras, la limpieza de máscaras metálicas finas FMM, la limpieza de máscaras Invar, la limpieza de máscaras de evaporación OLED y la limpieza de fotomáscaras. También se emplea para la limpieza UV de PCB y el matizado UV con excímeros en líneas de recubrimiento por rodillos. Constituye una alternativa rentable a las lámparas de excímeros de 172 nm de Hamamatsu y Ushio.
  • Modelo :

    MO-D330-6
  • Garantía :

    1 year
  • Irradiancia a 1 m :

    >100 mW/cm²
  • Uniformidad :

    ±10%
  • Irradiancia central de 172 nm :

    >70 mW/cm² @3mm
  • Vida útil promedio (irradiancia ≥70%) :

    2,500 hrs
  • Tamaño :

    (350×350mm irradiation window)
  • Humedad de funcionamiento :

    20%~80%
  • Temperatura de funcionamiento :

    -5°C~30°C
  • Potencia total :

    1200W ±10%
  • Voltaje de entrada (V) :

    AC 110~240V
  • Módulo de lámpara excimer GMY MO-D330-6 de 172 nm

    Como fabricante profesional de lámparas excimer chinas

    Nuestras ventajas

    • 01. Soluciones personalizadas basadas en las necesidades de su aplicación.
    • 02. Plazo de entrega de 30 a 45 días desde el diseño hasta la producción.
    • 03. Coste de desarrollo cero | Personalizable para una sola unidad

    Solicitud Campos

    Semiconductor wafer & Mask Cleaning

    Limpieza de obleas y máscaras de semiconductores

    La luz VUV de 172 nm es altamente oxidante. Descompone la suciedad orgánica y las partículas diminutas en las obleas, sin dejar residuos. Esto garantiza una fabricación precisa de semiconductores.

    Limpieza de máscaras de paneles OLED y de visualización

    Las lámparas de excímero de 172 nm emiten luz ultravioleta de alta energía. Eliminan las impurezas de las máscaras de los paneles OLED/pantallas, lo que previene defectos en los píxeles y las hace compatibles con las líneas de producción de BOE, TCL y CSOT.

    Organic particles & TOC Removal
    Film & Coating Production

    Limpieza de máscaras metálicas de evaporación FMM, Invar y OLED

    Para la limpieza de máscaras metálicas finas FMM, lámpara UV, lámpara excimer de 172 nm para limpieza de máscaras Invar,

    Limpieza UV de máscaras de evaporación OLED, limpieza de máscaras metálicas VUV de 172 nm

    La luz VUV de 172 nm descompone los compuestos orgánicos de estas máscaras. No daña la estructura de las máscaras, lo que garantiza un posicionamiento preciso de los píxeles. Esto mejora directamente el rendimiento de la producción.

    Línea de producción de películas y recubrimientos para películas matificantes de excímero

    Sistema de recubrimiento por rodillo VUV de 172 nm, matificación UV con excímero.

    La luz UV de excímero de 172 nm modifica las superficies de las películas. Crea una textura rugosa para lograr un acabado mate y una mejor adherencia del recubrimiento. Funciona en procesos de recubrimiento continuo con rodillo.

    Cold Plate & AI Server Cleaning

    Características principales

    01 Salida de alta intensidad

    Irradiancia superficial > 100 mW/cm²; 70 mW/cm² (@3mm). Elimina eficazmente los contaminantes orgánicos.

    02 Larga vida útil

    Electrodos de primera calidad y control preciso del gas. Vida útil básica superior a 2500 horas. Garantía de 1000 horas, con protección contra desgaste. < 30%. Hasta 3000 horas o más para uso profesional.

    03 Excelente uniformidad

    Ventana de irradiación de 350 × 350 mm, uniformidad ±10 %. El tamaño de la ventana se puede personalizar según sus necesidades.

    04 Operación instantánea

    No requiere precalentamiento, arranque instantáneo. Admite funcionamiento a alta frecuencia y sistema de recubrimiento por rodillos rollo a rollo.

    05 Alta adaptabilidad

    Funcionamiento fiable entre -5 °C y 30 °C, ideal para salas blancas y zonas con temperatura controlada.

    06 Integración flexible

    Trabajamos con diversos equipos de producción. Ofrecemos soluciones personalizadas con entrega rápida y sin costes de desarrollo.

    07 Fuente de luz sin mercurio

    Utiliza una fuente de luz ultravioleta de 172 nm libre de mercurio, lo que garantiza la seguridad y la protección del medio ambiente.

    08 Profesionales y confiables

    Respaldados por 30 años de experiencia en el campo de la luz ultravioleta y la fabricación de equipos, con capacidad de producción a gran escala, alta consistencia del producto, rendimiento estable y entrega confiable y puntual.

    Certificaciones y cumplimiento

    ISO Certificate
    ISO

    ISO 9001/14001

    Sistema de gestión de calidad certificado que garantiza estándares de fabricación de primera calidad.

    CE Certified Declaration
    CE

    Certificado CE

    Cumple plenamente con la legislación europea en materia de salud, seguridad y protección del medio ambiente.

    ROHS Compliance Certificate
    RoHS

    Cumple con la normativa ROHS

    Fabricación ecológica totalmente libre de sustancias peligrosas.

    UL Safety Certificate
    UL

    Certificado por UL

    Estándar norteamericano de máxima calidad que cumple con la normativa de seguridad eléctrica y prevención de incendios.

    Preguntas frecuentes

    Q ¿Cuál es el principio de funcionamiento de la lámpara de excímero de 172 nm?

    La lámpara de excímero VUV de 172 nm genera luz ultravioleta de vacío de alta energía mediante descarga de gas. Se caracteriza por una alta energía fotónica, que supera con creces la energía de enlace de las moléculas orgánicas comunes.

    Gracias a su gran capacidad para romper enlaces moleculares, la luz descompone directamente los contaminantes orgánicos. Además, produce especies reactivas de oxígeno que potencian la limpieza y la eliminación del COT.

    Como alternativa fiable a las lámparas de excímero Ushio y a las lámparas Hamamatsu de 172 nm, es adecuada para la limpieza de semiconductores, la limpieza de placas frías, el tratamiento de agua en unidades de desinfección química (CDU) y agua ultrapura (UPW), el proceso de matizado de películas y otros escenarios industriales.

    Q ¿Por qué elegir GMY?

    1. GMY cuenta con 30 años de experiencia en I+D y producción de lámparas UV, con una sólida experiencia técnica.
    2. Ofrecemos soluciones personalizadas que se adaptan a las necesidades específicas de su aplicación.
    3. Plazo de entrega rápido: de 30 a 45 días desde el diseño hasta el producto terminado.
    4. Coste de desarrollo cero, y posibilidad de personalización incluso para pedidos de una sola unidad.

    Q ¿Se puede utilizar este dispositivo para múltiples escenarios de aplicación?

    Sí. Admite la limpieza de obleas de semiconductores, placas de circuito impreso y diversas máscaras, así como procesos de recubrimiento con película y rodillo. Solo se requieren pequeños ajustes para diferentes usos.
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CONTÁCTANOS :jwtan@gmyok.com